Edwards分子泵机组
应用
· 一般实验室应用
· 光谱学
· 表面分析
· 小型镀膜系统
· 真空涡轮制造
特性与优势
· 完全组装，随时可用
· 通过集成的控制器控制涡轮泵、前级泵和可选的真空计
· NW40、ISO63 或 CF63 入口法兰
· 选择前级泵、E2M1.5 油封泵 T-Station 75W 或 XDD1 隔膜泵 T-Station 75D
· 延时涡轮启动选件，以便泵送更大容量
技术数据
N2 抽速 | |
NW40 | 42 ls-1 |
ISO63/CF63 | 61 ls-1 |
N2 压缩比 | >1 x 1011 |
50Hz 时的前级泵速度 | |
E2M1.5 | 1.6 m3h-1 |
XDD1 | 1.2 m3h-1 |
极限压力 | <5 x 10-8 mbar |
进气口法兰 | NW40、ISO63 或 CF63 |
排气口法兰 | |
E2M1.5 | 11mm OD 喷嘴或 3/8 英寸 BSP |
XDD1 | 装配消音器或 1/8 英寸 BSP |
重量 | |
E2M1.5 | 22 kg / 48 lb |
XDD1 | 18 kg/40 lb |
噪音级别 | 55.4 dB(A) |
密封性 | <1 x 10-6 mbar ls-1 |
工作温度范围 | 10 至 40°C/50 至 104°F |
