(光谱)TGS300TGS300真空紫外光谱仪

  • 2023-02-16 09:04:59
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产品简介

TGS300超环面光栅摄谱仪专为研究分析真空紫外光谱而开发设计。TGS300可在像面形成二维平场,配合阵列探测器实现真空紫外光谱范围内的一次性全谱采集。安装XY平台上的标准DN100CF法兰接口,可以方便地调整和优化阵列探测器的中心波长和聚焦特性。技术特点 单片式光学结构确保光通量zui大化,高光学稳定性。 HJY的超环面光栅技术,全光谱范围内优异的消像差能力。 超长的40mm光谱长度,横向滑动CCD测量更宽的光谱,纵向滑动CCD优化成像质量。 光谱覆盖zui低至10nm,10-30nm具有超高分辨率。 支持超高真空度10-9mbar,可接入同步辐射装置。典型应用 紫外和紫外等离子体光谱分析 紫外光源表征 激光高次谐波研究 EUV光源表征技术指标

三块标准光栅可选
2105 gr/mm光谱范围: 9.5 – 32 nm中心波长: 12nm
450 gr/mm光谱范围: 10 – 110 nm中心波长: 15nm
290 gr/mm光谱范围: 15.5 – 170 nm中心波长 : 35nm
光学设计HJY超环面消像差光栅
焦长300 mm
孔径f/20
分辨率低至0.04nm (*)
波长驱动固定
高真空10-6 mbar
真空泵法兰DN40 KF
Slits嵌入式
阵列探测器法兰DN100CF
可选项:
狭缝手控或自动
多光栅切换装置光栅滑块可装载3块光栅,真空中灵活切换
超高真空配合DN63CF真空泵法兰可达10-9mbar超高真空
(*) 使用2105线/mm光栅和10μm狭缝在波长20nm处测量。

附件 前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品偏振插片制冷机,zui低至4K真空泵

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