单晶硅充氮无氧烤箱,单晶硅充氮洁净无氧烤箱

单晶硅充氮无氧烤箱,单晶硅充氮洁净无氧烤箱

充氮厌氧烘箱专用于硅片(或晶片、晶圆片、圆片)进行清洗之后干燥硅片工艺.

PHH-系列充氮厌氧烘箱特点:

1)全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

2)耐高温，可以达到和工作场同样的地洁净等级；

技术参数：

1． 型号:PHH-1008

2．工作尺寸(mm): W1400×H1300×D600(宽*高*深)

3．外形尺寸(mm): W1990×H1850×D810(宽*高*深)

4． 送风方式：强制送风循环。

5． 温度范围：RT＋10℃～300℃。

6． 温度波动：<±0.5℃。

7． 温度均匀：±1.5% 。

依测规范：测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1／10处。

8．温控装置：日本富士P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。

测温装置：1支PT100 铂 电阻温度传感装置，测温*。

定时装置：HS48S-99.99定时仪表。

9．内室材料：采用 1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工，周身做氩弧焊满焊，密闭，氮气不泄露；外箱优质SUS不锈钢数字加工而成，美观大方 。

10．保温材质：硅酸铝。

11．特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。

12．保护装置：超温保护，欠相保护,过载保护器，蜂鸣器，开门氮气自动中断保护