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技术参数:
·波长范围：175-785nm波长连续覆盖，完全无断点 ·焦距0.4米,中阶梯光栅刻线97.4线/mm ·信号稳定性：≤1.0%RSD（4小时） ·RF发生器频率：40.68MHz ·等离子体输出功率700~1700瓦 ·等离子体冷却气0~22.5L/min可调
