(薄膜)NanoCalc薄膜反射光谱仪系统

  • 2023-03-05 15:05:11
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薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250μm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。

NanoCalc薄膜反射光谱仪系统特点

可分析单层或多层薄膜分辨率达0.1nm适合于在线监测操作理论

常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。

查找n和k值

可以进行多达三层的薄膜测量,薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc薄膜反射光谱仪系统软件包含了大多数材料的n和k值数据库,用户也可以自己添加和编辑。

应用

NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量,包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。

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